光学级CVD金刚石窗口在高功率微波、高功率激光器、远红外光探测、X射线等领域都有重要应用。

我所利用自主研发的10kW、2.45GHz微波等离子体化学气相沉积法设备制备的2英寸的光学级CVD金刚石窗口，直径50.8mm、厚度0.2-1.2mm、热导率＞18W/cm·K，紫外、可见光波段透过率＞65%，红外光波段透过率＞70%。

 

 

图1  CVD金刚石窗口实物图

 

图2  MPCVD沉积设备

 

图3 CVD金刚石窗口紫外可见光透过光谱图

 

图4 CVD金刚石窗口红外透过光谱图